【應用案例】卡裝式IO模塊應用于雙面研磨機

雙面研磨機用于兩面平行的陶瓷、半導體硅片、計算機支架零件等硬脆材料的雙面研磨加工。雙面研磨機通過用涂上或嵌入磨料的研具對工件表面進行研磨加工的磨床。

1、工作原理

雙面研磨機能夠避免由夾具的粘結誤差及薄片兩面的應力差引起的變形問題。

研磨的工件放在工件行星輪內，上下均有研磨盤。研磨墊固定在上研磨盤和下研磨盤的表面，被加工晶片放在由中心齒輪和內齒圈組成的差動輪系內。研磨壓力則由氣缸加壓上研磨盤實現。

為減少研磨時晶片所受的作用力，一般使上研磨盤和下研磨盤分別以大小相等、方向相反的角速度旋轉。晶片的運動由行星輪帶動，同時上、下研磨盤研磨壓力的作用下產生自轉，因此晶片的運動是行星運動和自轉運動的合成運動。

2、解決方案

此案例是由PLC+IO模塊+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸的組合實現精密壓力控制。雙面研磨機通過主軸驅動上下兩個研磨盤旋轉，與工件表面形成接觸，使用摩擦磨削的方式實現對工件表面材料的加工來改善工件的尺寸和表面質量。

研磨機的上盤采用機械鎖定的防落裝置，確保上盤升起時取放片操作的安全性。在研磨機需要監控的點位較多且集中的情況下，適用于通過背板總線擴展的AUEX卡裝式模塊。

3、應用效果

AUEX卡裝式模塊只有耦合器需要負載和系統兩組電源，擴展模塊不需要接電源，更節省了接線的人工成本。在維護時，端子可插拔，無需重新接線；卡裝式安裝，使拆卸模塊更便捷；耦合器自帶硬件撥碼，直接調節撥碼設置站號等都可以縮短停機時間。