ABB WPA 儀器儀表
詳細介紹
高品質、高產出、低成本是半導體生產行業所追尋的終極目標。生產流程的嚴格控測是實現該目標的必要條件，清洗生產流程中化學組份濃度監測是該目標實現的根本。
傅立葉變換紅外（FTIR）光譜儀是清洗生產流程監測的理想分析技術，并已得到廣泛應用。在清洗化學領域，該技術能提供快速、準確的、很高的重復性。
在FTIR技術方領域，ABB一直是全球的領先者。在過去的三十多年里，ABB一直致力于FTIR分析儀的研究與開發其所研發的清洗流程分析儀（WPA）是一項基于FTIR技術的方案，能夠滿足半導體生產行業的嚴格要求。
WPA是一種專為清洗流程在線、實時監控而設計的分析設備。該設備可對半導體生產流程的清洗、蝕刻、去光膠液過程中所采用的各種要求極為嚴格的溶液濃度進行監測，同時，一臺WPA分析儀可監測多達八種不同的流路。
